上海新微、三安长沙、英诺赛科苏州即将投产，中国第三代半导体如何脱颖而出？|士兰|氮化镓|电子束|碳化硅

上海新微、三安长沙、英诺赛科苏州即将迎来投产。
第2届第三代半导体论坛2021将于6月23-24在长沙召开，士兰明镓、山西烁科晶体、东莞天域、国宏中宇、株洲中车、Soitec、centrotherm、常熟埃眸科技有限公司等多家第三代半导体相关企业将出席会议并作报告。
将安排参观考察国内重点第三代半导体生产基地，以及新能源汽车产业链相关生产基地。

近日，上海临港再次传喜报，5月8日上午，新微半导体化合物半导体量产线结晶厂房结构封顶仪式在闵行开发区临港园区顺利举行。

天眼查显示，上海新微半导体有限公司由上海联和投资有限公司、上海临港管伟投资发展有限公司、上海新微科技集团有限公司和上海新微技术研发中心有限公司联合投资，公司定位于化合物半导体战略性材料和器件技术开发平台和量产线，致力于解决化合物半导体材料与器件的前瞻性核心技术。

亚化咨询获悉，上海新微半导体化合物半导体4英寸和6英寸量产线的研发和生产基地规划最终达成砷化镓（GaAs）、锑化镓（GaSb）及磷化铟（InP）光电晶圆1000片/月，折合器件2000万块/月，氮化镓（GaN）及磷化铟（InP）射频晶圆2000片/月，折合器件4000万块/月的生产能力。

中国招标网数据显示，截至2021年5月11日，上海新微半导体有限公司已经累计中标60台设备，并且设备招标规模正在不断扩大。

上海新微半导体部分设备中标情况：

设备名称

数量

中标供应商

氮化镓外延炉设备

AIXTRON SE

砷化镓外延炉设备

AIXTRON SE

磷化铟外延炉设备

AIXTRON SE

离子注入机

北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司

金电镀沉积台

MITOMO SEMICON ENGINEERING Co.,Ltd.

去胶剥离机

宁波润华全芯微电子设备有限公司

自动涂胶显影设备

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

等离子去胶设备

Trymax Semiconductor&Bruker UK Limited

高分辨率X射线衍射仪

Trymax Semiconductor&Bruker UK Limited

等离子体增强化学气相沉积仪

SPTS Technologies Limited

电感耦合等离子体刻蚀设备

SPTS Technologies Limited

光刻对准精度检验机

MueTec GmbH

台阶仪

MueTec GmbH

薄膜应力测试仪

MueTec GmbH

光致发光谱测试仪

ONTO INNOVATION&TOHO TECHNOLOGY

电化学CV测试仪

ONTO INNOVATION&TOHO TECHNOLOGY

霍尔效应测试仪

ONTO INNOVATION&TOHO TECHNOLOGY

电子束曝光机

Raith B.V.

电子束曝光机

CRESTEC CORPORATION

碳化硅背面减薄机

株式会社东京精密

电子束蒸发台

EVATEC AG

溅射台

EVATEC AG

真空镀膜系统

布勒莱宝光学设备（北京）有限公司

自动接触式曝光机

株式会社大日本科研

手动接触式曝光机

株式会社大日本科研

金属有机物化学气相沉积设备

南昌中微半导体设备有限公司

来源：亚化咨询《第三代半导体年度报告2020》

此项目预计于2021年第四季度建成投产。除上海新微半导体之外，三安长沙基地、英诺赛科苏州基地也即将迎来投产。显而易见，中国第三代半导体的发展已经步入了快车道！而在中国第三代半导体产业快速发展的同时，国际上如韩国，也开始强势布局第三代半导体产业。

5月3日，韩国政府产业通商资源部和国防部确定了为培育国防产业原材料、零部件、装备企业而进行的“X-band 氮化镓（GaN）半导体集成电路”国产化课题。韩国无线通信设备半导体企业RFHIC（艾尔福）被选定为课题牵头企业。此次课题由RFHIC（艾尔福）牵头负责执行。SK Siltron将参与碳化硅基板、氮化镓树脂(EPI)的制作，LIG nex1负责系统的验证。韩国电子通信研究院(ETRI)的半导体工厂将被用来进行GaN MMIC的制作。除X-band外，课题还将扩大到Ku-band、Ka-band等,该技术也适用于扩展到28千兆(GHz)的5G通信设备及卫星通信。

就在前一天的5月2日，韩国LG集团就宣布，为了对旗下5家关联公司进行分拆重组，LG新设立了拥有8万亿韩元（约460亿人民币）资产的控股公司LX Holdings。Silicon Works是五家关联公司之一，最近，Silicon works就发布了招聘负责SiC和GaN半导体研发的信息，无疑展现了LG准备切入第三代半导体的雄心。

而今全球第三代半导体产业发展竞争激烈，欧美日领先巨头已经或准备进行产能大规模的扩张，韩国、中国台湾地区也不断进行第三代半导体产业的布局。中国大陆本土企业如何在激烈的竞争中脱颖而出？

第2届第三代半导体论坛2021将于6月23-24日在长沙召开，士兰明镓、山西烁科晶体、东莞天域、国宏中宇、株洲中车、Soitec、centrotherm、常熟埃眸科技有限公司等多家第三代半导体相关企业将出席会议并作报告，会议将围绕市场、项目布局、技术与工艺等多个角度对中国第三代半导体行业发展形势进行探讨！

第三代半导体技术、材料、设备、市场论坛

（6月23-24日·湖南长沙）

会议名称：第三代半导体技术、材料、设备、市场论坛

会议时间：2021年6月23-24日

会议地点：湖南长沙

会议规模：200人

参观考察：第三代半导体相关企业

会议主题：产业政策、市场供需、技术与经济、项目布局、创新应用

主办单位：亚化咨询

赞助单位：centrotherm，常熟埃眸科技有限公司，中电二建

日程安排

2021年6月23日星期三