掩模检测仪是用于掩模、掩膜或晶片宏观检查的明亮光源照射台,在强光条件下看到掩模的整个表面。尺寸为18“x 18”x 18。该装置配备可选的黄色过滤器。

掩模检测仪规格参数
色温：4000
流明：3995
等效瓦数：42W
输入电流：0.33安培
输入电压：120伏交流电50/60赫兹
可调光：是的
能源之星：是的
平均寿命：50000
晶圆尺寸：76, 100, 150, 200, 300mm
重量：约为13kg

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