金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,华海清科(北京)科技有限公司申请一项名为“用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备“,公开号CN202410518944.1,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本申请公开了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备,用于基板磨削的搬运装置,包括:支撑部件,用于带动基板移动;保持部件,安装于支撑部件,用于吸附基板;保持部件包括:支撑架,固定设置在支撑部件上;吸附垫,可伸缩地设置在支撑架上;环形吸盘,固定设置在支撑架上,且与吸附垫同心;保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式,以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。
本文源自:金融界
作者:情报员
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