金融界2024年10月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯持能控半导体科技有限公司申请一项名为“一种TCS鼓泡用供气装置”的专利，公开号CN 118816093 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种TCS鼓泡用供气装置，涉及半导体外延设备技术领域。本发明包括外罐、内罐、一级鼓泡机构以及二级鼓泡机构；一级鼓泡机构包括一级隔板、一级混合器、载气支管路、载气主管；二级鼓泡机构包括二级隔板以及二级混合器；一级混合器及二级混合器均密集布置；内罐内竖向插设有补液管，补液管的底部位于一级隔板的上方；内罐内顶部安装有导气管和泄气管，外罐内底部安装有承载内罐的称重器。本发明使存储空间内始终保持稳定的质量，从而稳定汽化；结构设置无需额外能量供给，效率高，能够输出稳定、饱和的蒸汽；通过外罐与内罐之间的间隔空腔设置，能够设定防火墙，实现防护；温度传感器在遇到温度异常时能够及时发现并预警。

本文源自：金融界

作者：情报员