金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,嘉兴弘毅电子科技有限公司取得一项名为“一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手”的专利,授权公告号CN 222003496 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型提出一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手,其包括承载装配机构、升降支托机构、取片偏转机构、回片偏转机构、取片吸定机构及回片吸定机构,该磁吸式双臂机械手的取片臂板通过磁吸静片及磁吸动片装配于取片偏转机构上,回片臂板通过固定磁片及活动磁片装配于回片偏转机构上,由于取片臂板及回片臂板均采用磁吸结构进行固定,当其在工作中发生碰撞时,会从取片偏转机构或回片偏转机构上脱落或偏移,碰撞过程中产生的碰撞力在脱落或偏移过程中被吸收抵消,对取片偏转机构及回片偏转机构的影响极小,不会造成原点改变,无需对整个机械手进行重新调试,可保障机械手在晶圆检测过程中的运行持续性,提高检测精度和效率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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