青禾晶元申请防止异质复合材料制备过程中碎片的方法专利,解决供体衬底和/或支撑衬底破碎的问题
金融界2024年11月22日消息,国家知识产权局信息显示,青禾晶元(天津)半导体材料有限公司申请一项名为“一种防止异质复合材料制备过程中碎片的方法”的专利,公开号 CN 118983217 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明提供一种防止异质复合材料制备过程中碎片的方法,所述方法通过在供体衬底内进行至少两次离子注入,形成应力缓冲层;之后与支撑衬底键合,得到键合体;进行升温剥离时,该应力缓冲层能够抵消键合体的内部应力,解决了供体衬底和/或支撑衬底破碎的问题。本发明得到的异质复合材料满足后续工艺生产需求,适合大批量生产。
本文源自:金融界
作者:情报员
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