金融界2024年12月6日消息，国家知识产权局信息显示，青岛华芯晶电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆清洁装置及清洁方法”的专利，公开号CN 119076509 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体公开了一种晶圆清洁装置及清洁方法，包括：安装架、清洗槽和安装架上设置的吊装件，所述安装架包括放置杆和位于放置杆两侧的挡杆，挡杆内滑动设置有活动杆，所述挡杆上沿着其轴向开设有多个限位块和避让槽，所述活动杆上安装有多个滑动设置在避让槽上的安装块，所述限位块与安装块一起用于夹持晶圆，两挡杆上夹持的晶圆一一交错设置，活动杆与放置杆之间设有连接杆，活动杆上设有凸起；本发明的有益效果：在对晶圆进行清洗时，增加晶圆之间的间隙，清洗效果更好；安装架向下移动时，驱动组件使晶圆转动，进而使晶圆被夹持部位能够被清洗，使晶圆清洗更加全面。

本文源自：金融界

作者：情报员