金融界2024年12月17日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“低氧高品质单晶硅的制备方法及单晶晶棒”的专利,公开号 CN 119121378 A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明提供一种低氧高品质单晶硅的制备方法及单晶晶棒,属于单晶硅制备技术领域,包括以下步骤:S1、在拉晶过程中,调节加热器上升至预定距离,使得加热器的发热区位于硅熔液的液面上方,以降低单晶硅的氧含量;S2、在加热器上升的过程中,施加水平磁场,调节磁场中心位置与液面位置持平,并控制磁场强度保持不变,以抑制液面对流,使熔体温度分布均匀,提高单晶硅的品质,从而在降低单晶硅氧含量的同时保证单晶硅的品质。
本文源自:金融界
作者:情报员
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