金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为“一种光罩盒套件”的专利，授权公告号 CN 222167410 U，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本申请提供一种光罩盒套件，包括：光罩盒，所述光罩盒包括盒体和盖体，所述盒体和盖体适配并被装配为能够开合能够密封的结构；容置腔，所述容置腔内用于容置惰性气体；过渡舱，所述过渡舱被配置为能够与所述容置腔连通并能够容纳所述光罩盒，所述过渡舱的第一端与所述容置腔连通，且所述过渡舱的第一端和所述过渡舱的第二端分别设置有独立开关的第一舱门和第二舱门；以及第一气压调节装置，与所述过渡舱连接，用于置换所述过渡舱内的气体以及调节所述过渡舱内的气压。本申请提供的光罩盒套件可以在光罩运输过程中隔绝光罩与水氧氛围的接触。

本文源自：金融界

作者：情报员