金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，捷造科技（宁波）有限公司申请一项名为“一种镀膜设备进片室装置及抽真空方法”的专利，公开号CN 119144945 A，申请日期为2023年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种镀膜设备进片室装置及抽真空方法，包括：进片室腔室，在所述进片室腔室内设置至少一组布气盒组件，所述布气盒组件与载有硅片的载板具有一定间距，所述布气盒组件包括两个对称分布的布气盒，该两个对称分布的布气盒之间形成一定间隙，在所述间隙对应的进片室腔室底部设置第一通孔，在所述第一通孔两侧垂直于所述间隙的方向对称设置第二通孔与第三通孔，所述第一通孔大于所述第二通孔与第三通孔，所述第一通孔用于连接粗抽管道，所述第二通孔与第三通孔分别用于连接第一精抽管道与第二精抽管道。本发明的优点是：能够降低抽空过程中基片碎片、叠片、掉片的风险。可以快速实现进片室真空，提升进料节拍，消除瓶颈工站。

本文源自：金融界

作者：情报员