金融界2025年1月23日消息,国家知识产权局信息显示,福建泓光半导体材料有限公司申请一项名为“一种含硅底部抗反射涂层组合物及其制备方法与应用”的专利,公开号CN 119331250 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本发明属于光刻材料技术领域,具体涉及一种含硅底部抗反射涂层组合物及其制备方法与应用。所述含硅底部抗反射涂层组合物至少含有聚合物A和聚合物B;所述聚合物A含有衍生自如式(1)所示第一单体的结构单元一以及任选的衍生自如式(2)所示第二单体的结构单元二和任选的衍生自如式(3)所示第三单体的结构单元三;所述聚合物B含有衍生自如式(4)所示第四单体的结构单元四以及任选的衍生自如式(5)所示第五单体的结构单元五。本发明的关键在于将具有特定结构的聚合物A与聚合物B引入底部抗反射涂层组合物中,由于氰基和氟基之间的共同作用,使得所形成的抗反射膜与光刻胶表面的粘附性良好,显影后的光刻胶图案不易倒塌、形成效果好。

天眼查资料显示,福建泓光半导体材料有限公司,成立于2019年,位于漳州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币,实缴资本22150万人民币。通过天眼查大数据分析,福建泓光半导体材料有限公司参与招投标项目23次,知识产权方面有商标信息10条,专利信息38条,此外企业还拥有行政许可31个。

本文源自:金融界

作者:情报员