2025年2月12日，半导体设备ETF(561980.SH)收涨3.49%，成交8220.82万元。净流出2135.84万元（净赎回份额*单位净值），居可比基金首位。

资金流出也带来了份额的减少，该基金最新份额较前一日减少1600.00万份，跌破6.70亿份，创近1个月新低。与此同时，该基金最新规模达8.85亿元。

半导体设备ETF(561980.SH)，场外联接(A：020464；C：020465)。