二、精密成型组件

1.晶圆传输系统

·PFA花篮1需满足：

·表面粗糙度Ra<0.2μm

·颗粒物释放量<10个/立方英尺（Class 1洁净度）

·抗静电性能<10^6Ω/sq

·目前依赖进口部件的良品率可达99.99%，国产产品在复杂结构模具开发和注塑工艺控制方面存在差距

2.反应腔体内衬

用于CVD/PECVD设备的全氟内胆：

·需耐受300℃高温持续工作

·氟离子释放量<5ppb

·3D曲面成型精度±0.05mm

三、特种功能材料

1.防渗透改性材料

·氢氟酸渗透率<0.01g·mm/m²·day（杜邦951HPPLUS）

·氯离子渗透系数<1×10^-13 cm²/s

·国内同类产品渗透率高2-3个数量级

2.纳米增强材料

·添加碳纳米管或石墨烯的复合PFA：

·导热系数提升至3.5W/m·K（纯PFA约0.25）

·抗蠕变性能提高80%

·已应用于3D封装散热部件

四、检测认证体系

1.分析测试设备

·超痕量金属分析仪（检测限达0.01ppt）

·亚微米级表面缺陷检测系统

·在线洁净度监控装置

2.标准物质

·G5级认证参考物质（CRM）

·28种金属混合标样（浓度梯度0.1-100ppt）

当前国内企业如亿特富隆已实现部分G4级产品量产10，但在G5级材料、复杂结构组件和特种功能材料领域仍需突破。建议重点关注：

·大尺寸PFA注塑模具开发（≥500mm）

·等离子表面处理技术（降低金属吸附）

·分子级纯化工艺（金属杂质去除效率）