金融界2025年2月21日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载舟的检测电路、故障检测方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN 119493047 A，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，本申请公开一种承载舟的检测电路、故障检测方法和半导体工艺设备，其中承载舟的检测电路用于检测半导体工艺腔室内的承载舟舟页之间的通断，半导体工艺腔室能够容纳至少一个承载舟，各个所述承载舟的两极设有一组射频输出端口；所述检测电路包括分别连接在各组所述射频输出端口之间的信号发生器和信号检测器，各组所述射频输出端口对应的所述信号发生器、所述承载舟和所述信号检测器分别形成电回路；所述信号发生器用于提供电信号；所述信号检测器用于检测对应的所述承载舟所在电回路的通断，所述电回路的通断用于表征对应的所述承载舟的舟页之间的通断。本申请能够提升对应半导体工艺设备的产能。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1006次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自：金融界

作者：情报员