金融界2025年3月26日消息,国家知识产权局信息显示,浙江大族富创得科技有限公司申请一项名为“一种SiC外延合并拆分模组”的专利,公开号CN 119673846 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,尤其是指一种SiC外延合并拆分模组,包括存储箱、盘环放置箱、机械手、合并拆分机构及纠偏平台,所述合并拆分机构用于实现石墨环与晶圆或石墨盘的合并或拆分,所述寻边器设置有第一定位基准,所述寻边器按照第一定位基准完成对晶圆的寻边纠偏,以确定晶圆的位置和角度,所述纠偏平台设置有第三定位基准,所述纠偏平台按照第三定位基准完成对石墨盘的寻边纠偏,以确定石墨盘的位置和角度;本发明能够快速实现石墨环与晶圆或石墨盘之间的合并与拆分动作,提升晶圆定位准确性,能够独立实现晶圆或石墨盘的寻边纠偏,节省基准校准时间,降低设备计算复杂度,保证加工质量。
天眼查资料显示,浙江大族富创得科技有限公司,成立于2021年,位于嘉兴市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江大族富创得科技有限公司参与招投标项目5次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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