金融界2025年3月26日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市昇维旭技术有限公司申请一项名为“炉管及其使用方法”的专利,公开号CN 119673814 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,一种炉管及其使用方法,炉管包括:处理晶圆的腔室;用于给所述腔室供气的常压进气装置和低压进气装置,所述常压进气装置和所述低压进气装置分别独立地与所述腔室连接;用于控制所述腔室内气压的常压压力控制装置和低压压力控制装置,所述常压压力控制装置和所述低压压力控制装置分别独立地控制所述腔室内的气压;位于所述腔室内部的与所述常压进气装置连接的常压喷气管,及位于所述腔室内部的与所述低压进气装置连接的低压喷气管。本申请通过一台炉管实现了对常压工艺处理和低压工艺处理的兼容。

天眼查资料显示,深圳市昇维旭技术有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币,实缴资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市昇维旭技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息47条,专利信息106条,此外企业还拥有行政许可13个。

本文源自:金融界

作者:情报员