金融界2025年4月7日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“干法蚀刻方法”的专利，公开号CN 119764169 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，一种干法蚀刻方法，包括：提供工艺腔室，包括可升降基座、以及位于可升降基座上方的喷头，可升降基座承载有待蚀刻件；调节可升降基座与喷头之间的间距为预设工艺间距；通过喷头向工艺腔室中通入蚀刻气体，并对待蚀刻件进行蚀刻。本发明有利于提升待蚀刻件的电性和良率。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币，实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自：金融界

作者：情报员