金融界2025年4月8日消息,国家知识产权局信息显示,磊菱半导体设备(江苏)有限公司申请一项名为“一种半导体抛光的反馈控制方法及系统”的专利,公开号CN 119772789 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本申请提供了一种半导体抛光的反馈控制方法及系统,涉及半导体抛光加工技术领域,该方法包括:构建智能反馈器,包括点阵演化单元、反馈决策单元与模糊分析单元;结合点阵演化单元确定目标校验点阵;基于协同控制方案进行抛光控制,同步执行基于目标校验点阵的传感监测,确定监测反馈数据;对监测反馈数据进行指标矩阵组的提取与模糊反馈决策,确定反馈控制策略;接收主观反馈指令,结合反馈控制策略执行反馈抛光调控。通过本申请可以解决由于监测数据处理量较大,无法实现针对性监测,导致监测反馈的时效性和准确性较差,造成半导体抛光质量较差的技术问题,可以提高半导体抛光监测的针对性和目的性,达到提高半导体抛光质量的技术效果。

天眼查资料显示,磊菱半导体设备(江苏)有限公司,成立于2021年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7000万人民币,实缴资本2345万人民币。通过天眼查大数据分析,磊菱半导体设备(江苏)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,专利信息16条,此外企业还拥有行政许可10个。

本文源自:金融界

作者:情报员