金融界2025年4月10日消息,国家知识产权局信息显示,锦州神工半导体股份有限公司申请一项名为“一种降低硅片Fe含量的硅片清洗工艺”的专利,公开号CN 119786336 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明涉及一种降低硅片Fe含量的硅片清洗工艺,其包括:S1、将硅片在600‑680℃高温下处理20‑30min;S2、将冷却后的硅片放入质量浓度为9‑12%的HF水溶液中浸泡240 360秒取出后再将硅片放入循环流动的第一清洗液中浸泡清洗360‑420s,第一清洗液中含有氨水和双氧水;接着,将硅片放入循环流动的第二清洗液中浸泡清洗180‑240s,温度升高至40‑60℃,第二清洗液中含悬浮微珠,粒径为2‑4mm,悬浮微珠表面修饰有机膦酸基团;S3、取出硅片后干燥,检测Fe含量,若不达标,继续按S1‑S2的方法继续处理,直至硅片Fe含量降低至合格标准。本发明可高效地降低硅片所含Fe的含量。
天眼查资料显示,锦州神工半导体股份有限公司,成立于2013年,位于锦州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本17030.5736万人民币,实缴资本11591.2014万人民币。通过天眼查大数据分析,锦州神工半导体股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目38次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可64个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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