金融界2025年4月10日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质”的专利,公开号CN 119786367 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请实施例公开了一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质,上述方法包括:检测承载在运动台上的待扫描晶圆的晶圆离焦高度,以获得对待扫描晶圆进行追焦的基准高度;基于晶圆对焦校准数据中包括的各个特征点的位置信息生成第一运动轨迹,并控制运动台运动以控制待扫描晶圆基于第一运动轨迹运动;基于晶圆对焦校准数据获取待扫描晶圆运动至各个扫描点的追焦补偿高度;获取待扫描晶圆运动至各个扫描点时的离焦反馈参数基于基准高度追焦补偿高度和离焦反馈参数生成待扫描晶圆运动至各个扫描点时的实时对焦高度,并基于实时对焦高度对待扫描晶圆进行对焦以获取待扫描晶圆的晶圆图像,对焦响应速度快,对焦精度高,适用性强。

天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息19条,专利信息61条,此外企业还拥有行政许可10个。

本文源自:金融界

作者:情报员