金融界2025年4月11日消息,国家知识产权局信息显示,新存科技(武汉)有限责任公司申请一项名为“半导体器件的形成方法”的专利,公开号 CN 119789440 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种半导体器件的形成方法,包括提供衬底;在衬底上形成多个器件结构,相邻器件结构之间具有沟槽;在沟槽内形成间隔层,间隔层的表面低于器件结构远离衬底一侧的顶部表面;在间隔层表面形成第一绝缘层;在第一绝缘层表面形成第二绝缘层,第二绝缘层的致密度大于第一绝缘层的致密度;至少对第二绝缘层进行平坦化处理,直至暴露出器件结构的表面。通过在沟槽内形成致密度低的第一绝缘层,在第一绝缘层上形成了致密度高的第二绝缘层,因此可以改善平坦化工艺造成缺陷。同时由于绝缘层的膜层质与生长温度强相关,与间隔层接触的第一绝缘层的致密度较低,因此第一绝缘层的生长工艺对温度要求低,从而减少对间隔层的影响。

天眼查资料显示,新存科技(武汉)有限责任公司,成立于2022年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1718.4646万人民币,实缴资本1257.59万人民币。通过天眼查大数据分析,新存科技(武汉)有限责任公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目3次,专利信息96条。

本文源自:金融界

作者:情报员