金融界2025年4月17日消息,国家知识产权局信息显示,瀚积智能科技(上海)有限公司取得一项名为“种非接触式晶圆检测装置”的专利,授权公告号CN 222762927 U,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种非接触式晶圆检测装置,包括工作台,以及设置在工作台上的机械臂、晶圆仓组、翻转装置和图像采集装置;所述机械臂的活动端连接吸盘,晶圆仓组和翻转装置位于机械臂的运转路径上,晶圆仓组中用于储存晶圆片,机械臂、翻转装置和图像采集装置分别与控制器连接;所述图像采集装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置;第一图像采集装置用于采集翻转装置上晶圆片的图像,第二图像采集装置与机械臂连接,用于采集晶圆仓的图像。该装置实现了晶圆片在非接触状态下的全自动检测,采用非接触的方式检测,避免工作人员与晶圆片的接触,解决了运转过程对晶圆片的损伤,同时自动化检测能够提高检测效率,降低晶圆片的制造成本。
天眼查资料显示,瀚积智能科技(上海)有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本576.9231万人民币。通过天眼查大数据分析,瀚积智能科技(上海)有限公司专利信息11条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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