金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，清软微视（杭州）科技有限公司申请一项名为“一种多通道同时扫描的晶圆检测系统”的专利，公开号CN119985535A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本发明提供一种多通道同时扫描的晶圆检测系统，包括同时扫描待检测晶圆的第一PL通道，第二PL通道，BF通道和DF通道，所述第一PL通道和第二PL通道采用相同波长的光源进行照明和成像，所述BF通道和DF通道采用与第一PL通道和第二PL通道不同波长的光源进行照明和成像，并使用二向色镜组件将光路整合，所述成像采用微分干涉成像方式，其中，PL为光致发光，BF为明场，DF为暗场。本发明将BF、DF、PL通道融合，并使用两个PL通道，共四个检测通道，检测效率高，多通道融合，晶圆只需扫描一遍，可同时应对不同类型的缺陷。

天眼查资料显示，清软微视（杭州）科技有限公司，成立于2022年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本380.952381万人民币。通过天眼查大数据分析，清软微视（杭州）科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自：金融界

作者：情报员