金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法”的专利，公开号CN119987163A，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体加工工艺领域，提供一种用于光栅板和基板的调节结构及其调节方法。用于光栅板和基板的调节结构包括调节套筒，所述调节套筒的第一端形成有第一螺纹段，所述第一螺纹段用于与基板螺纹配合，所述调节套筒的第二端形成有第二螺纹段，所述第一螺纹段与所述第二螺纹段螺距不同；连接杆，所述连接杆的第一端与所述第二螺纹段螺纹配合，所述连接杆的第二端用于与光栅板柔性连接；检测件，用于检测所述光栅板和所述基板的参数信息；驱动件，与所述调节套筒传动连接，所述驱动件用于基于所述参数信息驱动所述调节套筒动作。该调节结构调节分辨率可达微米级别，在半导体加工过程中，光栅板对准时间可以大大缩短，调节效率高。

天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目60次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员