意法半导体申请密封式微机电膜器件专利,涉及密封式微机电膜器件
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金融界2025年6月9日消息,国家知识产权局信息显示,意法半导体国际公司申请一项名为“密封式微机电膜器件”的专利,公开号CN120097272A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本公开的实施例涉及密封式微机电膜器件。微机电膜传感器包括:支撑体,支撑体包含半导体材料并且具有在面中的凹部;平台,平台被容纳在凹部中,与支撑体相距一定距离;弯曲件,弯曲件将平台连接到支撑体并且被配置为将平台保持悬置在凹部中。间隙在支撑体、平台以及弯曲件之间延伸。膜被容纳在平台中,并且界定包含在平台中的掩埋腔。密封条沿着间隙在支撑体、平台和弯曲件上延伸。
本文源自:金融界
作者:情报员
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