金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“液滴流对准机构及其方法”的专利，公开号CN120188574A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种系统(600)包括对准机构的第一部分(604)和第二部分(606)。第一部分耦合到液滴生成装置内的喷嘴(602)。第二部分耦合到液滴生成装置的外表面(608)。第二部分包括第二调节机构(612)，该第二调节机构用于调节第一部分的第一调节机构(610)，以便对准喷嘴，使得液滴从喷嘴基本上沿着液滴路径(614)行进。

本文源自：金融界

作者：情报员