金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种椭偏测量系统及测量方法”的专利，公开号CN120176547A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本申请公开了一种椭偏测量系统及测量方法，可应用于光学技术领域，其中系统包括：光路产生组件、锯齿光阑、分离组件和光路接收组件；光路产生组件用于产生照射光束；待测样品用于反射照射光束，并产生信号光束；锯齿光阑设于照射光束对应的照射光路中，用于减小照射光束的数值孔径，并抑制菲列尔衍射；分离组件设于信号光束对应的反射光路中，用于滤除信号光束中的衍射杂散光，并将信号光束中有效照射光射向光路接收组件；光路接收组件用于接收有效照射光，并利用有效照射光确定待测样品的光学信息。如此，通过设置锯齿光阑来减小照射光束的数值孔径，同时通过锯齿来调制光强分布，抑制菲列尔衍射，进而减小照射光斑的尺寸。

天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目256次，财产线索方面有商标信息253条，专利信息967条，此外企业还拥有行政许可40个。

本文源自：金融界

作者：情报员