金融界2025年6月23日消息,国家知识产权局信息显示,苏州捷专企业管理有限公司申请一项名为“一种细线宽电极栅线图形化显影设备”的专利,公开号CN120178620A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种细线宽电极栅线图形化显影设备及显影方法,该显影设备包括两个显影段和传送机构,两个显影段中的至少一个设置有多功能显影槽。多功能显影槽包括浸润机构和喷淋机构;浸润机构包括进液口、第一溢流口、第二溢流口、第三溢流口和浸润管路;喷淋机构包括喷嘴、不同高度和距离的支撑架、喷淋管路和安装座。本发明所提出的显影方法为先浸润再喷淋。本发明通过设置两个独立的显影段和多功能显影槽,并对显影槽结构进行改进,实现多种功能高效协同,使显影液更加易于达到栅线凹槽底部,避免了感光胶残留,解决了显影不洁的问题;同时能够适应不同硅片和硅片的不同部位的显影需求,提高了细线宽电极栅线的图形化显影效果。
天眼查资料显示,苏州捷专企业管理有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本10万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州捷专企业管理有限公司专利信息8条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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