金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于处理衬底的设备”的专利，公开号CN120221445A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，公开了一种用于处理衬底的设备，所述设备包括：壳体，所述壳体提供处理空间；支撑单元，所述支撑单元用于在所述处理空间中支撑衬底；第一供应端口，所述第一供应端口用于将处理流体供应到所述处理空间中；排出端口，所述排出端口用于排出所述处理空间内的所述处理流体；以及多孔构件，所述多孔构件设置为在所述处理空间内面向所述第一供应端口并且具有孔。

本文源自：金融界

作者：情报员