金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司申请一项名为“用于检测衬底状态的装置和方法”的专利,公开号CN120221437A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本公开提供了用于检测衬底状态的装置和方法。用于检测衬底状态的装置包括:衬底传送单元,传送衬底;传感器单元,包括一个或多个传感器阵列,并检测在设置有一个或多个传感器阵列的位置中存在或不存在衬底;以及检测单元,检测衬底的对准状态。

本文源自:金融界

作者:情报员