金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“高速温度测定方法、高速温度测定装置以及基板处理装置”的专利，公开号CN120232549A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明涉及高速温度测定方法、高速温度测定装置以及基板处理装置。高速温度测定装置包括：测定激光单元，在通过热源加热基板的期间，为了监测所述基板的温度变化而向所述基板发出测定光；检测单元，检测所述测定激光单元产生的光信号；以及高速信号处理单元，利用通过所述检测单元检测的光信号而输出所述基板的温度变化数据。

本文源自：金融界

作者：情报员