金融界2025年7月7日消息，国家知识产权局信息显示，上海新傲芯翼科技有限公司申请一项名为“键合晶圆的制造方法”的专利，公开号CN120261393A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明提供一种键合晶圆的制造方法，先根据器件晶圆的间隙氧浓度预设器件晶圆的氧化温度；然后根据预设的器件晶圆的氧化温度执行氧化工艺，以在器件晶圆的表面形成氧化层，并使器件晶圆表面的间隙硅原子纵向扩散；将器件晶圆和支撑晶圆进行键合以形成键合晶圆，氧化层位于器件晶圆和支撑晶圆之间。由于器件晶圆具有给定范围的间隙氧浓度，且在执行氧化工艺的过程中，根据器件晶圆的间隙氧浓度预设了器件晶圆的氧化温度，由此在执行氧化工艺的过程中，可以使器件晶圆表面的间隙硅原子纵向扩散，由此可以与器件晶圆的晶格中的空位复合，从而减少或者消除器件晶圆中的间隙氧在氧化过程中的形核点，进而减少或者避免键合晶圆制造过程中出现氧沉淀物。

天眼查资料显示，上海新傲芯翼科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本80000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员