金融界2025年7月12日消息,国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“一种光刻胶模型的建模方法及相关产品”的专利,公开号CN120295062A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明涉及一种光刻胶模型的建模方法及相关产品。建模方法包括获取光刻胶模型中影响光刻胶的显影图形的待优化工艺参数集合;基于各参数所属的工序将集合划分成多个子集;以由光刻胶模型得到的仿真结果和实测结果之间的最小偏差指标为优化目标,以各子集为迭代单元,对集合的各参数进行优化;其中,在对处于下游工序的子集的各参数进行迭代优化过程中,处于上游工序的子集的各参数不变。
天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息162条,专利信息303条,此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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