国家知识产权局信息显示,上海优睿谱半导体设备有限公司取得一项名为“一种用于晶圆侧边检测的U型光源”的专利,授权公告号CN223610008U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种用于晶圆侧边检测的U型光源,包括照明光源,所述照明光源包括多组灯条;多个聚光透镜,所述多个聚光透镜布置在所述多组灯条之前;匀光片,所述匀光片布置在所述多个聚光透镜之前,截面呈U型;以及外壳,所述外壳包括U型部分和竖直部分,所述竖直部分与所述匀光片相连;所述匀光片为所述U型光源的内表面,所述外壳为所述U型光源的外表面;所述照明光源和所述多个聚光透镜布置在所述外壳和所述匀光片包围的区域内;所述外壳和所述匀光片的中心布置有通光孔。本实用新型提供的用于晶圆侧边检测的U型光源,四组灯条的安装角度不同,提高了对不同倒角形态的兼容性,显著提高了明场检测背景的均匀性。

天眼查资料显示,上海优睿谱半导体设备有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本721.7424万人民币。通过天眼查大数据分析,上海优睿谱半导体设备有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员