国家知识产权局信息显示,北京奥普托科微电子技术有限公司申请一项名为“一种晶圆表面缺陷的检测系统及检测方法”的专利,公开号CN 121049259 A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测技术领域,特别涉及一种晶圆表面缺陷的检测系统及检测方法,系统包括成像模块,成像模块包括至少两组成像通道,成像通道包括采集光信号并将光信号转换为图像信号的成像相机,成像通道内设置有光调制组件,光调制组件对经晶圆表面反射或散射的出射光进行偏振调制及光强调制;偏振控制模块调整各成像通道内光调制组件的转动角度;信号处理模块对不同图像信号进行差分运算,多组成像通道射入的光线经过光调制组件设置不同的偏振参数及光强参数,获取多组图像信号,形成关于同一检测区域散射光的成像图像,成像图像包括缺陷信号尽量弱的图像和缺陷信号尽量强的图像,通过差分运算可以获得缺陷信号增强的成像图像。

天眼查资料显示,北京奥普托科微电子技术有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本18027.5602万人民币。通过天眼查大数据分析,北京奥普托科微电子技术有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息54条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员