国家知识产权局信息显示,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司申请一项名为“一种异质集成电光调制器件的制备方法”的专利,公开号CN 121050128 A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,公开了一种异质集成电光调制器件的制备方法,包括:对电光材料晶圆的介质层进行第一图形化工艺,将介质层划分为多个交替排布图形化区域和非图形化区域,图形化区域中包括多个第一凹槽;在第一凹槽中填充牺牲层,图形化区域为介质层与牺牲层交替的栅形结构;进行化学机械抛光工艺,在图形化区域的栅形结构中形成第二凹陷;第二凹陷的至少两侧对应的电光材料层形成坡面结构;栅形结构的抛光去除速率大于介质层的抛光去除速率;去除剩余牺牲层,并切取若干电光材料单元;将电光材料单元键合至包含波导芯的波导芯晶圆上。本发明可以简化工艺流程,实现波导芯和波导芯-电光材料复合波导芯之间的低损耗光场过渡。
天眼查资料显示,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司专利信息46条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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