来源：问董秘

投资者提问：

公司在芯片生产过程中会用到臭氧水和臭氧吗？

董秘回答(中芯国际SH688981)：

尊敬的投资者，您好！晶圆制造过程中，通常在CVD等工艺的部分环节需使用臭氧。感谢您的关注！

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