国家知识产权局信息显示,意法半导体国际公司申请一项名为“制造光学肋波导的方法”的专利,公开号CN121209009A,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本公开涉及制造光学肋波导的方法。根据一方面,提出了一种用于制造光子集成电路的脊波导的方法,该方法包括:从在绝缘体层上形成的硅层形成初始脊光波导结构,然后形成具有面向初始结构的脊的开口的掩模,然后实现氧化以减小面向掩模的开口定位的初始结构的脊的厚度,以从初始结构获得具有厚度小于初始结构的脊的厚度的脊的光波导,然后去除掩模。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员