国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底处理方法”的专利，公开号CN121228213A，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，提供了在命令信号从控制器传输到衬底处理设备时提高控制时间精度以及在处理衬底时提高过程稳定性的方法。使用其形成膜的方法包括将过程控制参数输入到第一控制器中，将过程控制参数从第一控制器下载到第二控制器，以及在衬底上形成膜。

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作者：情报员