国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种加热单元及刻蚀腔体”的专利，授权公告号CN223743603U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种加热单元，该加热单元包括用于与刻蚀腔体的穹顶组成加热空间的罩壳，用于对穹顶进行加热的加热模组，用于对穹顶的表面温度进行实时监测，并生成温度数据的测温模组，用于接收温度数据并根据温度数据对加热模组的加热功率进行控制的控制单元。本实用新型的加热单元通过加热模组、测温模组和控制单元的配合，实现了对穹顶表面温度的均衡控制，有效提高了穹顶表面温度的均匀性，进而有效改善聚合物脱落影响晶圆的刻蚀加工的问题；本实用新型还提供了一种刻蚀腔体，所述刻蚀腔体包括了上述的加热单元，通过在所述刻蚀腔体上设置所述加热单元，有效改善聚合物脱落影响晶圆的刻蚀加工的问题，进而大幅提升了产品良率。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息919条，此外企业还拥有行政许可56个。

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作者：情报员