国家知识产权局信息显示，深圳市容大感光科技股份有限公司;北京化工大学申请一项名为“基于肟酯类光引发剂的光刻图案实时检测方法”的专利，公开号CN121276891A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明涉及光刻技术领域，提供了利用光引发剂光激活发光的特性而实现显影前光刻图案质量实时检测方法。光引发剂咔唑基肟酯是一种具有光激活发光特性的光引发剂。初始状态下，引发剂不具备发光性；在紫外光照射下，分子发生断裂生成自由基，进而触发发光，并将其用于光刻质量检测中。在光刻胶曝光区域，引发剂被曝光光源激活发出明亮的光，使得曝光区域图案在显影前即可直观呈现，从而实现对图案质量的快速检测与评估，实现显影前的光刻图案质量检测。

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作者：情报员