国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN121310903A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种基板处理装置，包括主体，具有干燥腔和第一安装腔；第一安装腔与干燥腔的一端连通；干燥腔用于容纳基板；承载件，包括第一盖板和托板；托板设于第一盖板并延伸至干燥腔内，以支撑基板；第一盖板可移动的设于第一安装腔；第一密封部，包括由内而外间隔设置的第一密封圈和第二密封圈；第一密封圈和第二密封圈均围绕干燥腔的开口设于第一盖板；且第一密封圈和第二密封圈之间形成第一密封空间；真空组件，设于主体，并与第一密封空间连通，以对第一密封空间抽真空，使第一盖板与干燥腔的外壁抵接，以封闭干燥腔，本发明能够使得第一压板安装方便，能够将承载件压紧且不容易造成卡顿。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息69条，此外企业还拥有行政许可60个。

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作者：情报员