国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司取得一项名为“光罩甩干装置及清洗设备”的专利,授权公告号CN223784623U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体生产设备制造领域,具体涉及一种光罩甩干装置及清洗设备。本装置包括:定位台,其一端转动设置有转轴;载片台,其安装在转轴上;其中,所述载片台上具有若干摆放工位;以及,光罩甩干时,转轴带动载片台绕定位台转动至相应摆放工位与光罩对齐,以使光罩嵌入对应摆放工位内。通过设置多个不同位置以及不同尺寸摆放工位,以适配不同尺寸的光罩,通过设置可旋转的载片台,以使在应对不同光罩时,将载片台旋转到相应的摆放工位。

天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司参与招投标项目24次,专利信息81条,此外企业还拥有行政许可7个。

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作者:情报员