国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“磷酸槽换酸方法及磷酸槽换酸控制系统”的专利，公开号CN121310872A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明涉及一种磷酸槽换酸方法及一种磷酸槽换酸控制系统。所述磷酸槽换酸方法和磷酸槽换酸系统中，在两次小换酸之间的跑货阶段，获取所述跑货关联量以及所述硅酸浓度表征量在每个处理批次完成后的当前值，当所述跑货关联量的当前值大于第一设定阈值且所述硅酸浓度表征量的当前值大于所述目标范围内的第二设定阈值时，发出小换酸指令以对所述磷酸槽进行小换酸，并卡控基片进入所述磷酸槽，利用跑货关联量和硅酸浓度表征量来得到小换酸指令，有助于使磷酸槽内的硅酸浓度更稳定，从而能够提升磷酸槽内溶液的氧化硅刻蚀速率的稳定性，有助于提升产品性能、产品良率以及工艺控制能力。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息933条，此外企业还拥有行政许可56个。

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作者：情报员