国家知识产权局信息显示,芯联集成电路制造股份有限公司申请一项名为“半导体器件及其制作方法”的专利,公开号CN121335132A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件及其制作方法,所述方法包括:提供基底,基底上形成有栅极,栅极两侧的基底内形成有源/漏极;在栅极与源/漏极上形成掺杂有N型离子的硅阻挡层;形成金属层,金属层覆盖硅阻挡层、栅极的侧壁以及基底;进行第一次高温退火工艺,使得金属层中的金属元素扩散至硅阻挡层内并继续扩散至栅极、源/漏极内并反应形成金属硅化物。本发明通过在栅极与源/漏极上形成掺杂有N型离子的硅阻挡层,能够降低金属元素向栅极、源/漏极内进行扩散的扩散速度,达到抑制金属元素过扩散的目的,从而改善金属硅化物的均一性,同时避免了有效沟道长度的降低,减小了器件的漏电,提高了器件性能与器件良率。
天眼查资料显示,芯联集成电路制造股份有限公司,成立于2018年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本838268.7172万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业,参与招投标项目1733次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息783条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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