国家知识产权局信息显示,苏州德睿科仪仪器设备有限公司取得一项名为“一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置”的专利,授权公告号CN223808629U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的调节装置,包括基座,基座顶端一侧连接设有安装座,安装座的顶端连接设有光照装置,光照装置包括上箱体和下箱体,下箱体的底部中心处设有照射窗口,基座顶端还设有第一移动机构,第一移动机构与基座滑动连接,第一移动机构顶端连接设有承载座,承载座的顶端连接设有承载台,承载台的顶部中心处连接设有吸附平台,承载座内设有调节装置,调节装置包括四轴位移台,四轴位移台的底端与第一移动机构连接,四轴位移台的顶端连接设有转接件,转接件的顶端连接承载台,承载台的底端连接设有卡固件,通过四轴位移台实现承载台XYZR四维度的调节,通过调节装置,电路板能准确地置于照射窗口内,曝光效果提高。
天眼查资料显示,苏州德睿科仪仪器设备有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州德睿科仪仪器设备有限公司参与招投标项目16次,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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