国家知识产权局信息显示，安徽华远装备科技有限公司取得一项名为“一种分区可控PECVD Showerhead结构”的专利，授权公告号CN223805146U，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体涉及一种分区可控PECVD Showerhead结构，包括由上部的气槽板、下部的喷淋板以及四周挡板组成的盒状空腔结构，所述盒状空腔结构的内部沿水平方向设置有多个呈回形状态的隔板，每个所述隔板分别将所述盒状空腔结构的内部分割为一个区域，所述气槽板远离喷淋板的一侧连通有多个进气管路，每个所述进气管路分别与一个所述区域连通设置，每个所述区域内均设置有匀气板，所述匀气板上均设有相互交错的气孔，本实用新型能够增强气体在盒状空腔结构内部的扩散、提高空腔内气体浓度的均匀性，不同区域内气体浓度可根据沉积的薄膜厚度设置成相同或不同，最终达到沉积的薄膜厚度均匀的目的。

天眼查资料显示，安徽华远装备科技有限公司，成立于2021年，位于宣城市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2200万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽华远装备科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可2个。

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作者：情报员