国家知识产权局信息显示,浙江阿童木科技有限公司申请一项名为“一种用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备”的专利,公开号CN121344572A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及化学气相沉积设备领域,公开了一种用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备,其中的用于化学气相沉积设备的加热装置包括竖轴,所述竖轴的底端固定安装有横梁。本申请具有以下优点和效果:便于电阻加热器、感应加热器、红外加热器三种加热方式的灵活切换,可适配多种材质半导体晶片的化学气相沉积需求,可兼容多温度区间加工需求,还满足不同沉积的加热需求,而且能够控制两个隔热箱以竖轴为中心在反应腔内往复性旋转,确保半导体晶片各区域受热均匀,提升对导电承载架上放置的半导体晶片加热的均匀性和全面性,有效降低半导体晶片上沉积薄膜厚度偏差,进而提升对半导体晶片进行化学气相沉积处理的品质。
天眼查资料显示,浙江阿童木科技有限公司,成立于2025年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江阿童木科技有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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