国家知识产权局信息显示,SOITEC公司申请一项名为“制造用于将压电层转移到支撑衬底上的供体衬底的方法”的专利,公开号CN121359623A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于制造供体衬底(1)的方法,所述供体衬底(1)用于将压电层转移到支撑衬底上,所述方法包括以下连续步骤:·(a)提供压电衬底(5)和操作衬底(2);·(b)在操作衬底(2)或压电衬底(5)的主表面上沉积光聚合粘合层(6);·(c)通过粘合层(6)使压电衬底(5)与操作衬底(2)结合以形成异质结构(7);·(d)使用光通量照射异质结构(7),从而使粘合层(6)聚合;·(e)对经照射的异质结构(7)进行热处理;以及·(f)从压电衬底(5)与操作衬底(2)相对的面对压电衬底(5)进行减薄,从而形成供体衬底(1)。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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