国家知识产权局信息显示,一塔半导体(安徽)有限公司取得一项名为“一种外延设备的载片盘及外延设备”的专利,授权公告号CN223813568U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种外延设备的载片盘及外延设备,所述载片盘的顶部从内向外依次包括载片平台、托环卡槽、周壁,所述托环卡槽夹设在所述载片平台、周壁之间,所述载片平台的高度高于所述周壁的高度,所述载片盘的底部包括至少3条弧形导气槽,所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称。本申请载片盘的顶部设有载片平台、托环卡槽、周壁,在载片平台、周壁之间设有托环卡槽可以方便的将卡环固定在托环卡槽里,安装方便,同时载片盘的底部布设有至少3条弧形导气槽,所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称,有效增强了载片盘旋转能力,载片盘的适应性能也得到了提高。
天眼查资料显示,一塔半导体(安徽)有限公司,成立于2024年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本613.33万人民币。通过天眼查大数据分析,一塔半导体(安徽)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息26条,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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